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接触式光刻机种类

时间:2023-01-30 09:45  点击量:26
接触式光刻机根据应用工序不同,可以分为用于生产芯片的光刻机,以及用于封装的光刻机,其中封装光刻机对于光刻精度和控制精度的要求都比制造用光刻机低很多,价值量也相对较低。

接触式光刻机主要由对准工作台、双目分离视场CCD显微显示系统、PLC电控系统、气动系统、真空管路系统、直联式真空泵、二级防震工作台和附件箱等组成。

接触式光刻机的种类:
1、软接触:就是把基片通过托盘吸附住,掩膜盖在基片上面;
2、硬接触:是将基片通过一个气压,往上顶,使之与掩膜接触;
3、真空接触:是在掩膜和基片中间抽气,使之更加好的贴合。

更多产品信息来源:http://www.dymek.com.cn/Products-35179732.html
https://www.chem17.com/st110205/product_35179732.html

接触式光刻机种类

接触式光刻机根据应用工序不同,可以分为用于生产芯片的光刻机,以及用于封装的光刻机,其中封装光刻机对于光刻精度和控制精度的要求都比制造用光刻机低很多,价值量也相对较低。

接触式光刻机主要由对准工作台、双目分离视场CCD显微显示系统、PLC电控系统、气动系统、真空管路系统、直联式真空泵、二级防震工作台和附件箱等组成。

接触式光刻机的种类:
1、软接触:就是把基片通过托盘吸附住,掩膜盖在基片上面;
2、硬接触:是将基片通过一个气压,往上顶,使之与掩膜接触;
3、真空接触:是在掩膜和基片中间抽气,使之更加好的贴合。

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